클린룸 정전기 제어
1. 정적 제어의 기본 원리
(1) 정적 제어 수준 결정
(2) 정전기 발생 최소화
(3) 배기 및 중화 방법은 정전기 소실을 가속화하고 정전기 축적을 방지합니다.
(4) ESD 손상으로부터 제품을 보호하십시오.
2. 정적 제어 수준 결정
(1) 부품, 부품 및 장비의 정전기 민감도 분류
레벨 1: 0-1999V 정전기 전압에 의해 쉽게 손상됨
레벨 2: 2000-3999V 정전기 전압에 의해 쉽게 손상됨
레벨 3: 4000-5999V 정전기 전압에 쉽게 손상됨
민감한 정적 전압이 16000V보다 크면 정전기 방지 조치를 취할 필요가 없습니다.
(2) 정전기 보호 작업 구역의 구분
클래스 A: 접지에 대한 정전기 전위가 ±100V를 초과하지 않도록 하십시오.
클래스 B: 접지에 대한 정전기 전위가 ±1000V를 초과하지 않도록 하십시오.
실제 프로젝트에서 정전기 전위는 100V, 500V 및 1000V와 같은 해당 구성 요소, 구성 요소 및 장비의 정전기 민감 전압의 3단계를 초과하지 않습니다.
3. 정전기 발생을 최대한 최소화
이것은 정적 제어 3부작의 첫 번째 단계입니다. 이 깨끗한 작업 환경에서 최선의 조치는 다음과 같습니다.
(1) 접촉 마찰 분리 과정에서 발생하는 정전기를 줄이기 위해 유사한 특성을 가진 장비를 사용하십시오.
(2) 접촉 마찰 및 분리 과정에서 정전기 축적을 줄이기 위해 정전기 전도성 또는 정전기 분산 재료를 사용하십시오.
(3) 접촉 마찰 분리에 의해 발생하는 정전기를 줄이는 생산 공정을 사용하십시오.
4. 방출 및 중화
이것은 정전기를 제어하는 3단계 프로세스의 첫 번째 단계입니다. 마이크로일렉트로닉스 생산의 클린룸에서 일반적인 조치는 접지, 전도성 또는 소산성 재료를 사용하여 정전기를 방전하고 이온화 소산기를 사용하여 정전기를 중화하는 것입니다.
(1) 접지
청정실은 독립된 정전기 접지 시스템(접지 접지 금속 메쉬 지원 시스템, 생산 라인 워크스테이션 접지 지원 시스템 포함)을 갖추고 있어야 실내에 있는 모든 장비의 금속 쉘, 모바일 장비용 금속 지지대, 정전기 방지 장비 등은 정전기를 안전하고 효과적으로 방전할 수 있습니다. 바닥에 놓으십시오. 직원의 충전된 전기는 손목끈을 통해 접지되고, 정전기 방지 신발이나 힐 스트랩을 통해 접지된 후 정전기 방지 접지를 통해 방전됩니다. 접지, 벽, 천장, 칸막이 등은 하드 접지되고 장비 쉘, 모바일 장비(자동차, 의자, 선반 등), 작업대 등은 소프트 접지됩니다.
(2) 이온화된 샤오 전기
클린룸, 생산 라인 및 워크스테이션에서 생산 및 조립되는 부품 및 PCB에는 접지할 수 없는 일부 절연 도체 및 절연 유전체 재료(예: 대부분의 일반 플라스틱)가 있기 때문에 항상 피할 수 없습니다. 일부 환경에서는 이온화 제거기가 이러한 물체의 정전기를 국부적으로 소산시키는 데 자주 사용되며 더 자주 공기 이온화를 통해 절연 매체 및 절연 도체의 정전기를 중화하는 데 사용됩니다.
(3) 정전기 및 정전기 방지 재료
정전기 전도성 물질 및 정전기 분산 물질도 정전기 전도성으로 인해 매우 우수한 정전기 방전 물질이며 금속 전도체 방전보다 안전합니다. 그들은 일반적으로 바닥, 벽, 작업대 및 회전 용기로 사용됩니다. , 핀셋, 브러시 및 기타 정전기 방지 장비.
5. ESD 방지 및 제품 보호
이것은 정전기 제어 3부작의 마지막 단계입니다. 마이크로일렉트로닉스 생산의 클린룸에서 정전기에 민감한 부품 또는 부품, PCB에서 ESD가 발생하는 것을 방지하기 위해 한 가지 방법은 부품 및 부품에 적절한 접지 또는 션트를 제공하여&"소산&"; 제품에 존재하는 정전기. 요금; 또 다른 방법은 적절한 포장 방법과 재료를 사용하여 정전기에 민감한 장치의 포장 및 운송을 처리하는 것입니다. 이러한 재료는 제품에 전하가 침입하는 것을 효과적으로 차단하고 포장 상자에서 제품의 움직임으로 인해 발생하는 정전기를 줄일 수 있습니다.
국제적으로 반도체, 평면 액정 디스플레이 및 광전자공학은 점점 더 높은 집적도, 더 얇은 칩 와이어 직경, 정전기 방지에 대한 요구사항이 점점 더 높아지면서 빠르게 발전했습니다. 미국 ESD 협회는 ANS ESD S 20.20-1999 정전기 방전 제어 프로그램을 수정하기 시작했으며 SSD 정전기 민감성 분류를 일부 수정했습니다.
이것은 인력이나 장비가 장비를 만드는 때와 상관없이 구성 요소 사용자에게 경고를 제공하여 필요할 수 있는 환경 제어 요구 사항을 알려줍니다. EPA 지역의 허용 전압이 25V에 이르면 기존의 정전기 방지 장비, 장비, 도구 및 엔지니어링이 힘든 작업을 거쳐야 할 것입니다.