이온 팬이 정전기에 얼마나 영향을 미칩니 까?
“이온 팬은 ESD 성능 및 제품 및 장비의 오염 제어에 동일한 관심을 기울입니다. 청정실 *의 의류 및 재료는 정전기 소산 재료로 만들어져 접지 될 수 있습니다.
다른 헤드 산업, 특히 헤드 드라이브 산업에서 더 많은 클린 룸 정전기 방지 재료를 채택했습니다. 과거에는 헤드 드라이브 산업에서 IC (칩, 마이크로 칩) 생산에만 ESD 제어 기술을 사용했습니다. 그러나 이제는 더 많은 산업이 ESD 제어 기술을 채택했습니다.
정밀 회로 및 디스크에 대한 정전기 방전 (ESD)의 영향으로 인해 전자 산업은 엄청난 도전에 직면하고 있습니다. 그들은 매년 수십억 달러를 잃을 것입니다. 5V의 전압만으로도 소형 부품이 손상 될 수 있으며 100V 미만의 전압으로 인해 전체 전자 회로가 폐기 될 수 있습니다.
ESD의 영향을받는 지역에서 클린 룸 관리자는 생산 라인에서 ESD로 인한 고장 및 손상 비율을 고려해야합니다.
그러나 ESD 제어 물질은 오염되기 쉽다 – 정전기 소산 물질은 클린 룸에서 먼지 입자와 화학 물질 오염의 주요 원인이다. ESD를 제어하기 위해 클린 룸의 품목은 ESD 및 정전 기적 인력을 방지하는 정전기 소산 재료로 구성됩니다. 클린 룸을위한 정전기 방지 이온 블로어를 선택하는 것은 큰 도전입니다. 그러나 ESD 솔루션은 정전기 소산 재료를 찾는 것보다 더 복잡합니다.
사용 가능한 기술
클린 룸에서는 정전기 방지용으로 설계된 면봉, 와이프, 접착제, 천, 벽 재료, 손목 끈, 장갑, 작업복 등을 사용할 수 있습니다. 그러나 정전기 방산 재료는 오염을 유발할 수 있으며 플라스틱이나 스테인레스 스틸로 만든 많은 클린 룸 제품이 축적되거나 전기를 전도 할 수 있습니다.
ESD 제품 제조업체는 새로운 정전기 소산 재료를 개발하는 데 어려움을 겪었습니다. IC가 작아지고 정전기 감도도 높아지고 있습니다. 지난 3 년 동안 많은 전자 제품 제조업체는 더 많은 이온 팬 ESD 제품을 요구하기 시작했습니다.
올바른 정전기 방지 원료를 찾는 것은 어렵습니다. 마스크는 플라스틱으로 만들어졌으며 내마모성, 휘발성이 낮고 내 화학성이 우수합니다. 클린 룸에 좋은 재료입니다. 투명한 원료를 찾기가 어렵습니다. 첨가제 및 공중 합체는 상이한 굴절률의 조성으로 인해 재료를 불투명하게 만든다. 또한 플라스틱은 우수한 표면 저항력을 가져야합니다.
정전 흡착
정전기로 인해 청정실에서 오염 제거가 더 어려워집니다. 정전기의 작용으로 인해 먼지 입자가 실리콘 웨이퍼에 달라 붙기 쉬워 제품 손상 및 수율 저하가 발생합니다.
우리의 큰 문제는 클린 룸에서 사용하기에 적합한 정전기 방지 재료를 찾는 것입니다. LCD 산업에서, 유리 기판은 더 커지고 전하를 끌어 당기는 능력도 향상된다. 기판의 크기가 크기 때문에, 오염으로 인해 수율이 감소 할 수 있습니다.
다른 오염 제어 산업과 마찬가지로 LCD 산업은 ESD 문제를 해결할 수있는 새로운 재료를 찾고 있습니다. 클린 룸에 사용되는 재료는 정전기 방지 이온 블로어를 사용할 가능성이 높으며 기존 재료 대신 면봉 및 헝겊에 새로운 재료를 사용해 볼 수 있습니다.
적합한 유형
클린 룸에 적합한 ESD 제품이없는 이유는 무엇입니까? 지난 3 ~ 5 년 동안 제조업체는 클린 룸에 제품을 제공 할 때 클린 룸에 ESD 제품이 필요하다는 것을 깨달았습니다. 그러나 클린 룸에서 사용할 수있는 ESD 제품을 찾는 것은 문제가됩니다. 클린 룸에서 사용되는 많은 ESD 제품의 성능이 충분히 안정적이지 않기 때문입니다.
클린 룸에서 ESD 제어의 큰 문제는 클린 룸에서 사람들의 움직임입니다. 사람들은 많은 폴리 에스테르 직물을 착용하기 때문에 많은 전하를 생성합니다. 클린 룸에서이 충전을 제거하는 유일한 방법은 접지하는 것입니다.
지난 5 년 동안, 탄소 섬유와 직물의 혼합물로 만들어진 의복 시스템은 ISO 5 (클래스 100)의 클린 룸 요구 사항을 제공한다는 것이 밝혀졌습니다.
의복의 각 부분은 동일한 전기 전도성을 가지며 후드로부터 밑창까지의 전기 전도성 연결부를 갖는다. 클린 룸에서 일하는 사람은 그러한 옷을 입을 때 접지없이 전도성 밑창을 통과 할 수 있으므로 접지선의 길이에 의해 제한되지 않습니다.
이러한 작업복의 출현은 제품에 대한 수요가 높기 때문에 클린 룸의 ESD 문제로 인한 낮은 수율과 높은 불량률을 줄이는 데 도움이됩니다.
ESD 이온 팬 제어를위한 저렴하고 빠른 수리 방법은 없습니다. 핵심은 매달린 층류 이온 팬과 같은 ESD를 제어하거나 ESD를 제어해야하는 재료 옆에 이온 팬을 설치하는 것입니다. 칩 (IC)의 크기가 줄어들수록 ESD에 더욱 민감 해집니다. 이제, ESD의 제어는 작업 네트워크의 보호에 국한되지 않고 웨이퍼 및 웨이퍼를 생산하는 인원의 제어에 국한된다. 높은 표준을 가진 많은 회사들이 이와 같이 ESD를 통제하고 있습니다.