반도체 산업의 정전기 보호 지식
반도체 산업의 정전기 예방에 대한 기본 지식:
정전기 발생 방법: 접촉 분리; 마찰; 필링; 전도.
안전 우선: 정전기 방지 조치가 안전 대책과 충돌하는지 여부.
보호 조치: 접지-동등성 연결; 정적 전원 제어; 정전기 방지 포장.
주요 관심사: 제품 정전기 감도 요구 사항; 보호 표준 매칭; 규정 준수 확인.
금속 재료를 언제 사용해야 하고 언제 정적 소멸 재료를 사용할 수 있습니까?
금속 재료:
1. 금속 재료는 제품이 동일한 잠재력을 가지고있을 때 직접 사용할 수 있습니다.
2. 금속 재료는 단일 제품이 금속 재료와 직접 접촉하지 않을 때 사용할 수 있습니다.
전체 제품 처리 프레임워크로 인해 웨이퍼는 정전기 방지 필름을 사용하며 일부 장비에는 이온 팬을 장착할 수 없습니다. 이 과정에서 정전기가 축적됩니다. 이온 팬을 설치하는 것 외에도, 우리는 정전기를 빨리 가이드를 만들기 위해 몇 가지 빠른 전도성 재료를 선택할 것입니다.
정적 소멸 물질을 사용하는 경우 괜찮습니까?
예, 그러나 정전기는 매우 느리게 소멸, 정적 전기 축적의 위험이 있다, 그리고 방전 은 제품에 ESD 손상의 큰 위험을 제기 절단 하는 동안 발생 합니다.
정전기 재료: 단일 제품, 배송 및 포장 제품을 절단하고 분리한 후 정전기 재료를 사용할 수 있습니다.
잘못된 재료를 사용할 위험은 무엇입니까?
절단 및 분리 후 제품은 정전기 방지 능력이 더 민감하고 약하기 때문에 금속 재료가 사용되는 경우 너무 빠른 전도 (제품과 직접 접촉 한 후 빠른 방전으로 인해) 제품에 ESD 손상을 일으키고 정전기 재료의 사용은 압력을 제한합니다. 제품과 접촉한 후 제품에 ESD 손상의 위험을 줄입니다.
반도체 산업의 정전기 보호 대책
접지-동등성 연결: 민감한 장치와 접촉하는 도체는 도체의 정전기로 인한 방전을 피하기 위해 동등한 연결을 실현합니다.
정적 전원 제어: 접지 및 등구 연결을 통해 절연 재료의 정전전기를 제거할 수 없으므로 민감한 장치 주변에서 정적 전원 제어를 수행해야 합니다.
정전기 방지 포장: ESD 보호 구역에서 출하된 장치는 외부 정전기의 영향을 방지하기 위해 정전기 방지 포장을 사용해야 합니다.
정적 보호의 핵심은 정전 제거입니다: 정전전기가 발생할 수 있는 곳에서 정전이 축적되는 것을 방지합니다. 우리는 정전기를 생성하고 배출하기 위해 그것을 취합니다. 그리고 안전한 범위에서 정전기 전압을 제어할 수 있습니다. 기존의 정전기 축적을 제거하고 제 시간에 해제합니다.