반도체 장치의 마찰 및 정전기 처리 방법
반도체 장치의 정전기 파괴 모드는 크게 인체 충전 모드, 기계 충전 모드 및 장치 충전 모드의 세 가지 유형으로 나뉩니다. 인체의 충전 모드는 인체에 의해 운반 된 전하가 장치와 접촉 할 때의 방전 모드로서 간단히 설명된다. 주된 이유는 정전기 방지 옷과 정전기 방지 신발을 착용하지 않고 장치에 직접 접촉 할 수있는 정전기 방지 손목띠가 없기 때문입니다. 기계 모드는 금속 장치에 의해 운반되는 전하가 장치와 접촉 할 때 방전되는 모드입니다. 장비의 접지가 불충분하고 전기 다리미의 누전으로 인해 발생합니다. 장치 충전 모드는 장치의 도체 부분 (칩, 와이어, 리드 프레임 등)에 정전기가 충전되고 장치가 장비 또는 도구 홀더와 접촉 할 때 방전되는 모드입니다. 그 이유는 운송 중 칩의 마찰 충전으로 인해 발생합니다.
때때로 안전한 작동 영역이라고도하는 정전기 방전 보호 영역 (EPA)은 모든 종류의 정전기 방전 제어 조치의 핵심입니다. 이 영역에서는 정전기 방전 감지 구성 요소 (ESDS) 또는 회로 보드 또는이를 포함하는 구성 요소가 파괴적인 전압을 생성하지 않고 충전량이 제어되므로 안전하게 작동 할 수 있습니다. 이 영역에는 일반적으로 워크 벤치 또는 워크 벤치 그룹, 워크 스테이션, 자동 플러그인 기계 또는 생산 영역과 같은 처리 장비가 포함됩니다. EPA의 범위는 명확하게 표시되어야하며, 권한이없는 사람이 들어 가지 않도록 울타리를 설치하는 것이 가장 좋습니다. EPA 지역에서는 최소 정전기 전하 축적을 가진 재료를 사용해야하며, 제어 된 방식으로 전하를지면으로 배출 할 수 있습니다.