EPA 지역의 환경 조건은 무엇입니까
1. 온도: 정전기 방지 작업장(EPA)에는 실내 온도를 15~35°C 범위로 유지하기 위해 온도 조절 장치를 설치해야 합니다.
2. 온도: 습도 조절기는 정전기 방지 작업 영역(EPA)에 설치하여 실내 상대 습도를 45%~75%RH 범위 내로 유지해야 합니다.
3. 기압: 정전기 방지 작업 구역(EPA)의 대기압은 86~106kPa 범위 내에 있어야 합니다. 위의 요구 사항을 충족할 수 없는 경우 압력 조정 조치를 취해야 합니다.
4. 청정도(필요시 모니터링) : 청정한 환경의 정전기 방지 작업장(EPA) 처리장이 요구되며, 작업장의 공기 청정도는 해당 공정 설계 문서에 따라 이행되어야 한다.
이상은 EPA 지역 환경관리의 기본 항목에 관한 것입니다.
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