이온 팬의 정전 흡착
LCD 산업에서 유리 기판은 커지고 요금을 끌어들이는 능력 또한 향상됩니다. 기판의 크기가 크기 때문에 오염으로 인해 수율이 저하 될 수 있습니다. 다른 오염 제어 산업과 마찬가지로 LCD 산업은 ESD 문제를 해결할 수있는 새로운 소재를 찾고 있습니다. 클린 룸에 사용되는 재료는 또한 정전기 방지 이온 송풍기를 사용하기 쉽고 전통적인 소재 대신 면봉과 넝마에 새로운 재료를 사용할 수 있습니다.
클린 룸에서의 ESD 제어의 가장 큰 문제점은 클린 룸의 사람들의 움직임입니다. 사람들은 폴리 에스테르 직물을 많이 사용하기 때문에 많은 전기 요금을 발생시킵니다. 클린 룸에서이 충전을 제거하는 유일한 방법은 접지입니다.
지난 5 년 동안, 탄소 섬유와 직물이 혼합 된 의류 시스템이 ISO 5 (Class 100)에 대한 청정실 요구 사항을 제공한다는 것이 발견되었습니다.
의류의 각 부분은 동일한 전기 전도도를 가지며 두건에서 밑창까지 전기적으로 전도성이 있습니다. 클린 룸에서 작업하는 사람은 접지 와이어의 길이에 의해 제한되지 않도록 이러한 옷을 착용 할 때 접지없이 도전성 솔을 통과 할 수 있습니다.
이러한 작업복의 출현은 제품에 대한 높은 요구로 인해 클린 룸에서 ESD 문제로 인한 낮은 수율과 높은 불량률을 줄이는 데 도움이됩니다.
ESD 이온 팬 제어에는 저렴하고 빠른 수리 방법이 없습니다. 핵심은 일시적인 층류 이온 팬과 같은 ESD를 제어하거나 ESD를 제어해야하는 재료 옆에 이온 팬을 설치하는 것입니다. 칩 (IC)의 크기가 감소함에 따라 ESD에 더 민감해진다. 이제 ESD 제어는 작업 네트워크의 보호뿐만 아니라 웨이퍼 및 웨이퍼를 생산하는 직원의 제어에 국한되지 않습니다. 이러한 표준을 준수하는 많은 회사들이 ESD를 통제하고 있습니다.
